一、設(shè)備原理：

　　非接觸測厚儀是一款高性能高精密的測量儀器，可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測量。這種方式可以避免接觸測量引起的表面損傷，特別適用于軟脆材料及對樣品表面質(zhì)量高要求的測量。該儀器能非常理想的用于半導(dǎo)體、光學(xué)及電光材料處理等的測量應(yīng)用。

　　

　　測厚儀配置的測量探針將壓縮氮?dú)獯怪毕蛳麓迪虮粶y量的樣品表面，在樣品表面上形成穩(wěn)定氣膜，可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測量，并通過數(shù)字顯示系統(tǒng)顯示出所測得樣品的厚度數(shù)值。它集激光光源，光電檢測和計(jì)算機(jī)工業(yè)控制技術(shù)三者于一身，可廣泛用于生產(chǎn)線上對各種材料的厚度、寬度、輪廓的實(shí)時測量，是我國工業(yè)生產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要設(shè)備。

　　

　　設(shè)備采樣速度快（最大8000個/秒）、精度高，性能穩(wěn)定，操作簡單。厚度范圍0～500mm（或可按要求設(shè)定范圍）。精度最高可達(dá)1um。主要應(yīng)用領(lǐng)域：橡膠、鋼鐵、汽車、機(jī)械、輕工等行業(yè)。

　　

　　二、設(shè)備優(yōu)勢：

　　1、在不接觸樣品表面情況下，達(dá)到納米級別精確測量；

　　2、氮?dú)鈱悠繁砻嫘纬杀Ｗo(hù)層，防止在測量時產(chǎn)生二次損傷。